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      凈化車間潔凈度級別如何確定及計算分析


      一、凈化車間的規格

      凈化車間的規格一般適用于美國聯邦規格No.209B。這個規格對凈化間的環境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內壓等都進行了規格化規定。但是,伴隨著潔凈化程度的不斷提高,美國聯邦規格進行了改版,其內容主要是以潔凈度進行分類。最新版已成為No209E,名稱也進行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數為10x個/m3,把X表示成級別,同時加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國聯邦規格No.209B,表8表示的是美國聯邦規格No.209E。在日本,相應的規格是JIS B9920。JIS9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數規定為10的x立方個,用Y表示級別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級別的主要內容。

       

      凈化車間潔凈度

       

      表7  美國聯邦規格No.209B

      凈化間級別

       

      粒子

       

      室內壓力Pa

      mmH2O

       

      溫度

       

      濕度

       

      氣流

      換氣次數

       

      照度

       

      粒徑

      um

       

      累計粒子數

       

      范圍

      (℃)

       

      推薦值(℃)

       

      (℃)

       

      (%)

       

      最低

      %

       

      誤差

      %

       

      100

       

      1000

       

      10000

       

      100000

       

      0.5  

       

      0.5

      5

      0.5

      5

      0.5

      5

       

      100

       

      1000

      10

      10000

      65

      100000

      700

       

      +13

      (+1.3)

      以上

       

      19.4—

      25

       

      22.2

       

       

       

      ±2.8

      特別時為±1.4

       

      45

       

      30

       

       

       

      ±10

      特別時為±5

       

       

      層流方式

      0.45m/s

      ±0.1m/s

      非層流方式

      20次/h

       

       

      1080--1620

       

       

       

      表8  美國聯邦規格No.209E的潔凈度級別分類

      級別上限值是各級別名。上限值用指定粒徑以上的濃度(單位堆積粒子數)表示。*

      級別名稱**

       

      級別上限值

       

      粒徑

      0.1um

       

      粒徑

      0.2um

       

      粒徑

      0.3um

       

      粒徑

      0.5um

       

      粒徑

      5um

       

      SI***

       

      English

      Unit

       

      (m3)

       

      (ft3)

       

      (m3)

       

      (ft3)

       

      (m3)

       

      (ft3)

       

      (m3)

       

      (ft3)

       

      (m3)

       

      (ft3)

       

      MI

      M1.5   

      M2

      M2.5

      M3

      M3.5

      M4

      M4.5

      M5

      M5.5

      M6

      M6.5

      M7

       

       

      1

       

      10

       

      100

       

      1000

       

      10000

       

      100000

       

      350

      1240

      3500

      12000 

      35000  

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      9.91

      35.0

      99.1  

      350

      991

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      75.7

      265

      757

      2650

      7570

      26500  

      75700

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      2.14

      7.50

      21.4

      75.0

      214

      750   

      2140

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      30.9

      106

      309

      1060

      3090

      10600  

      30900

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      0.875

      3.00   

      8.75

      30.0

      87.5

      300

      875

      --

      --

      --

      --

      --

      --

       

      10.0

      35.3

      100

      353

      1000

      3530

      10000  35300 

      100000

      353000

      1000000

      3530000

      10000000

       

      0.283

      1.00

      2.83

      10.0

      28.3

      100

      283

      1000

      2380

      10000

      28300

      100000  

      283000

       

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      247

      618

      2470

      6180

      24700  

      61800

       

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      7.00

      17.5

      70.0

      175

      700

      1750  

       

      *上表中表示的級別上限值僅僅是為了級別分類而定義的,并不表示實際的粒徑分布值。

      **針對中間級別的濃度上限值,用如下的公式進行計算。

      粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI單位里的級別名稱,D :粒徑(um)

      ***國際單位(Systeme International d’Unites的縮寫)

       

      圖1,209E的潔凈度級別(圖略)圖中的●標記表示評價潔凈度級別用的對象粒子。

      ()內數值是用English unit表示級別。

      圖2,JIS B 9920的潔凈度級別的上限濃度

       

      表9,JIS B 9920主要內容         

       

      凈化間級別表

       

       

      表10,美國航空宇宙局規格主要內容

      生物凈化間級別

       

      粒子

       

      生物粒子

       

      室內

      壓力

      Pa

      mmH2O

       

       

      溫度℃ 

       

      濕度

      %

       

      氣流

      換氣次數

       

       

      照度

      Lx

       

      粒徑

      um

       

      累計

      粒子數

      個/ft

      (個/l)

       

      浮游量

      個/ft

      (個/l)

       

      沉降量

       

       

      100

       

      10000

       

       

       

      100000

       

      ≥0.5

       

       

      ≥0.5

       

      ≥5

       

      ≥0.5    

       

      ≥5

       

      100

      (3.5)

       

      10000

      (350)

      65(2.3)

       

      100000

      (3500)

      700(25)

       

      0.1

      (0.0035)

       

      0.5

      (0.0176)

       

       

      2.5

      (0.0884)

       

      1200

      (12900)

       

      6000

      (64000)

       

       

      30000

      (323000)

       

       

       

      +13

      (+1.3)

      以上

       

       

       

       

       

       

      40

      —   

      50

       

       

       

      層流方式

      0.45m/s

      ±0.1m/s

      非層流式

      ≥20次/h

       

      1080—

      1620

       

       

      二、不同用途所要求的潔凈度
      未經允許不得轉載,或轉載時需注明出處:http://www.1733tv.com/news/list04/356.html
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